マイクロリトグラフィ用マイクロレンズスキャナ及び広フィールド共焦顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-532621
公開番号（公開出願番号）：特表2001-500628
出願日： 1997年02月20日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】極めて小さい開口数及び大きいイメージフィールドを有する低分解能イメージ投影システムを、各々が大きい開口数を有するが極めて小さいフィールドを有するマイクロレンズアレイ(2)と共に使用する顕微鏡またはリトグラフィシステム。投影システムは小さい開ロストップ(7)を含み、この開ロストップはマイクロレンズ(2)によって、顕微鏡サンプル(6)または印刷表面(12)上のマイクロレンズ焦点位置にある回折制限されたマイクロスポットのアレイ上にイメージされ、表面は焦点アレイから完全ラスタイメージを構築するために走査される。システム設計は、伝統的な広フィールド、高NA顕微鏡及びマイクロリトグラフィシステムの複雑さ及び費用の主因であるイメージ分解能とフィールドサイズとの間のトレードオフを緩和する。システムは、平坦なフィールド、ひずみの無いイメージングを、従来のイメージングシステムの実際の限界よりも大きいイメージフィールド全体にわたる正確なオーバレイ、合焦、及び反り補償と共に可能にする。イメージ源としてディジタルマイクロミラーデバイスを使用し、半導体製造におけるフォトマスクの必要性を排除する。

請求項（抜粋）：

イメージングシステムにおいて、対物面と、上記対物面と共役するイメージ面と、投影開口と呼ぶ制限用開口ストップとを有する光学投影システムを含み、マイクロレンズ開口アレイを限定する開口をそれぞれが有するマイクロレンズの平面アレイを含み、上記開口アレイは上記投影システムの対物面に位置決めされており、上記マイクロレンズはそれぞれ上記投影開口と共役する焦点を有していて焦点アレイを限定しており、上記マイクロレンズアレイと、上記焦点アレイに近接するイメージングサンプルとの間の相対運動を確立する走査メカニズムを含み、上記サンプルに対して上記焦点が横切る経路は極めて接近して離間しているラスタ線のセットからなり、感光検出器要素のアレイからなる検出器を含み、上記検出器は上記投影システムのイメージ面に位置決めされており、上記投影システムは各マイクロレンズ開口を対応する検出器要素上にイメージし、上記検出器要素は対応するマイクロレンズ焦点に近接する上記サンプル上の、または上記サンプル内のマイクロスポットから発する光に応答するようになっており、上記サンプルと上記マイクロレンズアレイとの間の相対運動を確立するように上記走査メカニズムが動作するにつれて上記検出器の応答を記録するデータ収集システムを含み、それによって上記サンプルの高分解能ラスタイメージが合成されるようになっていることを特徴とするイメージングシステム。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G03F 7/20 505 , H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 21/00 , G03F 7/20 505 , H01L 21/30 518

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