特許
J-GLOBAL ID：200903083067913408
非線形抵抗素子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223759
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067216
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 特性バラツキの少ない非線形抵抗素子およびその製造方法を提供する。【構成】 絶縁性基板1上に第一電極層2を形成し、その上に堆積した絶縁体層3のコンタクトホール部4から露呈させた第一電極層2を酸化改質あるいは窒化改質して非線形抵抗層5を形成し、その上に形成した第二電極層6を非線形抵抗素子5に接続させる。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に形成された第一電極層の上に非線形抵抗層、第二電極層を順次積層して成る非線形抵抗素子において、非線形抵抗層の一部あるいは全てが第一電極層の一部に埋め込まれ、非線形抵抗層と第二電極層の接続は絶縁体層が一部除去されたコンタクトホール部を介して成される非線形抵抗素子。
IPC (2件)：
G02F 1/136 510
, H01L 49/02
