特許
J-GLOBAL ID：200903083069451800
基板の位置決め装置および位置決め方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-197375
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046017
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 正確な位置決めを行う基板の位置決め装置および位置決め方法を提供すること。【構成】 本発明は、基板10を載置するためのステージ2に、基板10の裏面へ向けて気体を吹き出すための吹き出し孔5と、吹き出し孔5から吹き出した気体を吸い込むための吸い込み孔6とを設けた位置決め装置1であり、基板10をステージ2上に載置した状態で吹き出し孔5から基板10の裏面に向けて気体を吹き出し、基板10をステージ2の上面2aからわずかに浮かせるとともにその気体を吸い込み孔6から吸い込み、この状態で基板10の周縁を基準ブロック3a〜3cへ押し当てて基板10の位置を決める位置決め方法である。
請求項（抜粋）：
上面に基板を載置するためのステージと、該ステージの上面から突出して設けられ該基板の周縁と接触して該基板の位置を規制するための基準ブロックと、該ステージの上面に載置された該基板を押圧し該基板の周縁を該基準ブロックへ押し当てて位置決めするための押圧用アームとを備えた基板の位置決め装置であって、前記ステージは、前記基板が載置される領域内から該基板の裏面へ向けて気体を吹き出すための吹き出し孔と、前記吹き出し孔から吹き出した気体を吸い込むための吸い込み孔とを備えていることを特徴とする基板の位置決め装置。
IPC (2件)：
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