特許
J-GLOBAL ID：200903083070932049
位置決め制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-248467
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086150
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 機械的共振の増幅を防止し、位置決め時間を短縮する。【構成】 可動体6と、この可動体の現在位置を検出する手段7,8と、入力される目標位置に対する前記現在位置の偏差を検出する差分手段2と、この偏差に基づき前記可動体を前記目標位置に向けて駆動する手段3,4,5と、この駆動に際しての前記目標位置に対するの最初のオーバシュートの極大量に所定のオフセット量を加えた量と真の目標位置との差を仮の目標位置として前記差分手段に出力する手段9,10,12,1aと、前記最初のオーバシュートが極大点に達したことを検出する手段9と、これによって前記極大点が検出されたら前記差分手段への入力目標位置を前記仮の目標位置から真の目標位置へ切り換える手段11とを具備する。
請求項（抜粋）：
可動体と、この可動体の現在位置を検出する手段と、入力される目標位置に対する前記現在位置の偏差を検出する差分手段と、この偏差に基づき前記可動体を前記目標位置に向けて駆動する手段と、この駆動に際しての前記目標位置に対するの最初のオーバシュートの極大量に所定のオフセット量を加えた量と真の目標位置との差を仮の目標位置として前記差分手段に出力する手段と、前記最初のオーバシュートが極大点に達したことを検出する手段と、これによって前記極大点が検出されたら前記差分手段への入力目標位置を前記仮の目標位置から真の目標位置へ切り換える手段とを具備することを特徴とする位置決め制御装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G05D 3/12
, H01L 21/68
