特許

J-GLOBAL ID：200903083081796767

合成石英ガラス光学部材の製造方法および光学部材

発明者： 藤原 誠志 ,  小峯 典男 ,  神保 宏樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-131519
公開番号（公開出願番号）：特開平11-029331
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 有機ケイ素化合物を用いた石英ガラスの合成では有機ケイ素化合物に含まれる炭素がガラス中へ残留し、四塩化ケイ素を用いた合成ではガラス中に塩素が含有されてしまうため紫外線耐性および透過率のいずれも優れている石英ガラスが得られなかった。【解決手段】 原料に有機ケイ素化合物とケイ素のハロゲン化合物の混合物を用いると耐性及び透過率両方を満足する石英ガラスが得られ、特にその混合比が95:5〜85:15であると塩素,Na,炭素いずれに対しても最も効果的であることがわかった。

請求項（抜粋）：

ケイ素化合物と酸素含有ガスと水素含有ガスとをバーナから噴出して燃焼させ、ターゲット上に石英ガラスを堆積し、これを透明化して石英ガラスインゴットを形成する合成石英ガラスの製造方法において、前記ケイ素化合物に有機ケイ素化合物とケイ素のハロゲン化合物との混合物を用いることを特徴とする、合成石英ガラスの製造方法。

IPC (3件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  G02B 1/00

FI (3件)：

C03B 8/04 D ,  C03B 20/00 F ,  G02B 1/00