特許

J-GLOBAL ID：200903083086074603

集積回路の故障解析方法

発明者： 中村 豊一 ,  二川 清 ,  辻出 徹
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207701
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045423
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 電子ビームテスタを用いる集積回路の故障解析の際集積回路の電位コントラスト像を高速にしかも劣化させずに得ること。【構成】 LSIテスタを用いて、集積回路を駆動しながら、その駆動のタイミングに同期して電位コントラスト像10を電子ビームテスタを用いて得る。この場合に電位コントラストを得るテストパターンの印加状態を一時保持しながら電位コントラストを得る。

請求項（抜粋）：

電子ビームテスタを用いた集積回路の故障解析手法において、あるテストパターンを入力した状態を一時的に保持し、他のテストパターン入力時間よりも長くした状態で電位コントラストを取得することを特徴とする故障解析方法。