特許
J-GLOBAL ID：200903083090387144
リンドープダイヤモンドの合成法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252376
公開番号（公開出願番号）：特開平10-081587
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 n型特性を示すリンドープダイヤモンド膜を提供する。【解決手段】 炭化水素と水素を反応ガスとするマイクロ波プラズマ法によるリンドープダイヤモンドの合成において、リンをドーパントとし、リンに結合する水素を解離して、ダイヤモンド中に水素と結合することなくリンを不純物として導入する。
請求項（抜粋）：
炭化水素とこれに混合する水素を反応ガスとするマイクロ波プラズマ法によるリンドープダイヤモンドの合成において、リンをドーパントとし、リンに結合する水素を解離させてダイヤモンド中に水素と結合することなくリンを不純物として導入することを特徴とするリンドープダイヤモンドの合成法。
引用特許：
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