特許

J-GLOBAL ID：200903083094575484

放射線検出素子

発明者： 高橋 徹 ,  倉門 雅彦 ,  松村 篤樹
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-113391
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315659
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 超電導トンネル接合を用いる放射線検出素子において、放射線の吸収により超電導体中で励起された電子を効率よく信号としてとりだすことを目的とする。【構成】 下部超電導体としてサファイア単結晶基板11上に真空蒸着した単結晶Al膜12を用い、その上部にトンネル障壁層13、上部超電導体14が順に配置してある。【効果】 放射線の吸収により単結晶Al膜中で励起された電子は、この膜が単結晶であり膜質が良いことから、膜中で再結合する割合が小さく効率よくトンネル障壁層に達し、大きな信号電荷が得られる。

請求項（抜粋）：

下部超電導体-トンネル障壁-上部超電導体からなる超電導トンネル接合放射線検出素子において、下部超電導体としてサファイア基板上に真空蒸着により成膜した単結晶Alを用いることを特徴とする放射線検出素子。

IPC (3件)：

H01L 39/22 ZAA ,  G01T 1/16 ,  G01T 1/24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-015686
  
• 特開平3-274772
  
• 特開昭61-099372