特許
J-GLOBAL ID：200903083098283410
薄板材供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲岡 耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248204
公開番号（公開出願番号）：特開平10-098017
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】ウエハの汚染を防止できる水中ローダを提供する。【解決手段】ウエハを保持したカセットが浸漬される水槽11の4つの上辺には、可動堰部材17A,17B,17C,17Dがそれぞれ取り付けられる。これらの可動堰部材の上辺には、複数のノッチNが所定間隔で形成されている。可動堰部材は、その両端の上下方向位置が調整可能な状態で水槽11に取り付けられる。これにより、ノッチNの上下方向位置を調整でき、4方向に向けて水槽11内の水をオーバーフローさせることができる。このオーバーフローにより、水面に漂うスラリーを除去できる。また、水槽11の底面に設けられた給排水口15から排水を行うことにより、水中のスラリーを除去できる。さらに、水槽11の側壁に設けたノズル91A,91Bから洗浄水を噴射させることにより、水槽11の内壁面に付着したスラリーを洗い落とすことができる。
請求項（抜粋）：
薄板材を収容するための液槽と、この液槽内の液を異なる方向に向けてオーバーフローさせるためのオーバーフロー手段と、上記液槽内へ液を供給するための液供給手段とを備え、上記オーバーフロー手段は、上記液槽内の液をオーバーフローさせて液槽の外部に導くためのオーバーフロー用通路が形成されているとともに、上記オーバーフロー用通路の上下方向位置が調整可能な状態で上記液槽に取り付けられた可動堰部材を含むものであることを特徴とする薄板材供給装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304 321
, B65G 49/04
, H01L 21/68
H01L 21/304 341 C
, H01L 21/304 321 A
, B65G 49/04 D
, H01L 21/68 A
