特許
J-GLOBAL ID:200903083103048751

半導体装置の落下装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高田 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-160691
公開番号(公開出願番号):特開平7-020200
出願日: 1993年06月30日
公開日(公表日): 1995年01月24日
要約:
【要約】【目的】 半導体装置をそのタイプごとに適切な落下距離を保って、テスト用ソケット内に落下できる半導体装置の落下装置を提供する。【構成】 ピストン部13aにより画成されたシリンダ室12の上部12bと下部12aとの圧力差により下側シリンダロッド30がソケット2のセット面2b側に接近するとともに、上側シリンダロッド31が圧縮バネ32の弾発力に逆らって下側シリンダロッド30側に接近し、上側シリンダロッド31に連動して吸着ロッド14がセット面2bに接近するようになっているものである。
請求項(抜粋):
ソケット内のセット面に半導体装置を落下、載置させる半導体装置の落下装置において、内部にシリンダ室を有するシリンダと、このシリンダ内に上下動自在に設けられているとともに前記シリンダ室内を上下動に摺動自在のピストン部が一端部に形成された第1のシリンダロッドと、前記シリンダ内に前記第1のシリンダロッドと対向して上下動自在に設けられているとともに前記ピストン部の内部に形成された凹部内を上下動する摺動部が端部に形成された第2のシリンダロッドと、前記凹部と前記摺動部との間に縮設された弾性手段と、前記凹部内に設けられ前記摺動部の移動量を調整する係止手段と、前記第1のシリンダロッドおよび前記第2のシリンダロッドを貫通しているとともに内部に吸着孔を有し前記第2のシリンダロッドと一体化された吸着ロッドと、前記第1のシリンダロッドの他端部に設けられ第1のシリンダロッドの上側方向の動きを規制する上方向規制手段と、この上方向規制手段に支持され前記第1のシリンダロッドを上方向規制手段を介して下側方向に付勢するスライダとを備え、前記ピストン部により画成された前記シリンダ室の上部と下部との圧力差により、前記第1のシリンダロッドが前記ソケットの前記セット面側に接近するとともに、前記第2のシリンダロッドが前記弾性手段の弾発力に逆らって前記第1のシリンダロッド側に接近し、前記第2のシリンダロッドに連動して前記吸着ロッドが前記ソケットの前記セット面に接近するようになっていることを特徴とする半導体装置の落下装置。
IPC (2件):
G01R 31/26 ,  B25J 15/06

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