特許
J-GLOBAL ID：200903083107115232
マイクロアクチュエータ及びその製造方法、並びに、光学装置及び光スイッチ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-375094
公開番号（公開出願番号）：特開2006-187060
出願日： 2004年12月27日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】 可動部の一部を湾曲させつつ、可動部の他の一部を精度良く湾曲していない状態にする。【解決手段】 可動部は、固定端が脚部6を介して固定された片持ち梁構造をなす梁部9から構成される。梁部13は、固定端と自由端との間に、直列に接続された2つの梁構成部7,8を有する。ミラー2は、梁構成部8の自由端側に設けられる。梁構成部7は、下層のSiN膜10、中間層のAl膜11及び上層のSiN膜12からなる。梁構成部8は、下層のSiN膜13、中間層のAl膜11及び上層のSiN膜14からなる。固定端側の梁構成部7は板ばね部である。梁構成部7は、梁部9が力を受けない状態で、基板3と反対側に湾曲している。自由端側の梁構成部8は、基板3側にもその反対側にも湾曲していない。梁構成部8は、当該梁構成部8を基板3側及びその反対側に湾曲させようとする内部応力を保有しない。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
固定部と、該固定部に対して固定端が固定された片持ち梁構造を持つ可動部とを備え、
前記可動部は、前記可動部の前記固定端と自由端との間に梁部を有し、
前記梁部は、前記固定端と前記自由端との間に直列に接続された複数の梁構成部を有し、
前記複数の梁構成部のうちの1つの梁構成部である第1の梁構成部は、前記可動部が力を受けない状態で、前記固定部とは反対側に湾曲し、
前記複数の梁構成部のうちの他の1つの梁構成部である第2の梁構成部は、前記可動部が力を受けない状態で、前記固定部側にもその反対側にも実質的に湾曲しないとともに当該第2の梁構成部を前記固定部側及びその反対側に湾曲させようとする内部応力を実質的に保有せず、
前記第1及び第2の梁構成部の各々が、2層以上の薄膜で構成され、
前記第1の梁構成部の全部又は大部分の領域の層構造と前記第2の梁構成部の全部又は大部分の領域の層構造との間で、積層順序で対応する各層の材料及び層数が同じであることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 1/00
, B81B 3/00
, G02B 26/08
H02N1/00
, B81B3/00
, G02B26/08 E
2H041AA14
, 2H041AB13
, 2H041AC04
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
