特許
J-GLOBAL ID:200903083115489540
複合構造物およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小山 有
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-113929
公開番号(公開出願番号):特開2002-309384
出願日: 2001年04月12日
公開日(公表日): 2002年10月23日
要約:
【要約】【課題】 脆性材料からなり、可視光透過率が低く、高硬度の透明構造物と基材とが一体化した複合構造物を得る。【解決手段】 サブミクロン粒径、純度99.8%の酸化アルミニウム微粒子をエアロゾル発生器13内に充填した後、ガスボンベ11を開き、ヘリウムガスを流量3リットル/分で搬送管12を通じてエアロゾル発生器13に導入し、酸化アルミニウム微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを発生させる。このエアロゾルを搬送管12を通じてさらに構造物形成室14の方向へ搬送し、高速に加速させつつノズル15より酸化アルミニウム微粒子を基板16に向けて噴射する。
請求項(抜粋):
基材表面に不透明な構造物が形成された複合構造物であって、前記不透明な構造物は脆性材料からなり、多結晶であり、また結晶は実質的に結晶配向性がなく、また結晶同士の界面にはガラス層からなる粒界層が実質的に存在せず、更にその一部は基材表面に食い込むアンカー部となっていることを特徴とする複合構造物。
IPC (4件):
C23C 24/04
, B01J 19/00
, B05D 7/24 301
, B05D 7/24 302
FI (4件):
C23C 24/04
, B01J 19/00 K
, B05D 7/24 301 W
, B05D 7/24 302 A
Fターム (50件):
4D075AA02
, 4D075AA84
, 4D075BB12X
, 4D075BB56Z
, 4D075BB92Z
, 4D075CA02
, 4D075CA44
, 4D075CB07
, 4D075DA06
, 4D075DB01
, 4D075DB13
, 4D075DB14
, 4D075DB31
, 4D075DC16
, 4D075DC24
, 4D075DC38
, 4D075EA02
, 4D075EB01
, 4D075EB05
, 4G075AA24
, 4G075AA27
, 4G075AA61
, 4G075BB08
, 4G075BB10
, 4G075BD11
, 4G075CA05
, 4G075CA15
, 4G075CA51
, 4G075CA62
, 4G075DA02
, 4G075DA18
, 4G075EA01
, 4G075EB01
, 4G075EC01
, 4G075EC21
, 4G075ED15
, 4G075EE12
, 4G075FC09
, 4G075FC15
, 4G075FC20
, 4K044AA12
, 4K044AB02
, 4K044BA13
, 4K044BB11
, 4K044BB16
, 4K044BC02
, 4K044BC05
, 4K044BC09
, 4K044CA23
, 4K044CA53
引用特許:
審査官引用 (1件)
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超微粒子成膜法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-210765
出願人:工業技術院長
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