特許

J-GLOBAL ID：200903083115894208

MEMSデバイスの機能的要素としてのカーボンナノチューブを製造するための方法

発明者： マンチェブスキ, ブラディミール
出願人/特許権者： ザイデックス コーポレイション
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-572903
公開番号（公開出願番号）：特表2002-526354
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】MEMSデバイスの機能的要素としてのカーボンナノチューブを製造するためのシステムおよび方法。本発明の方法は、カーボンナノチューブの合成のためにMEMS基板を調製する工程を包含する。ナノサイズ穴または触媒保持構造が、ナノチューブ触媒が析出されるMEMS基板上に作製される。ナノチューブは次いで、ナノサイズ穴内にて合成される。

請求項（抜粋）：

MEMSデバイスの機能的要素として、少なくとも1つのカーボンナノチューブを製造するための方法であって、該方法は以下の工程: 少なくとも1つのカーボンナノチューブの成長のためにMEMS基板を調製する工程; ナノサイズの触媒保持構造を該MEMS基板上の所定の配置において第一層内で作製する工程であって、ここで該配置が、該MEMS基板上での該少なくとも1つのカーボンナノチューブの位置を決定する、工程; ナノチューブ触媒を該ナノサイズ触媒保持構造内に配置する工程;および 該少なくとも1つのカーボンナノチューブを該触媒保持構造内に合成する工程、を包含する方法。

IPC (6件)：

C01B 31/02 101 ,  B81C 5/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26 ,  G01N 13/16 ,  G12B 21/08

FI (6件)：

C01B 31/02 101 F ,  B81C 5/00 ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/26 ,  G01N 13/16 C ,  G12B 1/00 601 D

Fターム (11件)：

4G046CA02 ,  4G046CC02 ,  4G046CC06 ,  4G046CC08 ,  4K029AA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K030BA27 ,  4K030CA12 ,  4K030LA11