特許
J-GLOBAL ID：200903083121835906
超伝導量子干渉素子磁束計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-016148
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230094
出願日： 1993年02月03日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】多チャンネルSQUID磁束計において伝送線の自己インダクタンスを顕著に増加させず外部の磁気雑音が混入しないSQUIDの構造を提供する。【構成】SQUID11と帰還コイル部12からなり、検出コイルに接続するパッド31と帰還回路に接続するパッド32に配線が出る。伝送線の一部と帰還コイルをともに薄膜で形成し、伝送線の一部にその線間隔がその他の部分より広い部分を設け、その部分の周囲において帰還コイルをなす超伝導線を、伝送線をなす超伝導線の上に積層する。帰還コイル部分12をリング状の超伝導体で囲う。【効果】検出コイルから入力コイルへの磁束伝達効率の低下を従来の1%以下にとどめ、帰還コイル部分に磁気シールドを設ける必要がない。
請求項（抜粋）：
超伝導量子干渉素子を用いた磁束計において、磁場を検出する検出コイルと、超伝導量子干渉素子リングに前記磁場を伝達する入力コイルをつなぐ超伝導の往復導線である伝送線の少なくとも一部が薄膜で形成され、前記薄膜で形成された部分における前記伝送線の線間隔がその一部で他の部分より広く構成され、その周囲の前記伝送線の配線上に別の超伝導体が絶縁されて積層されていることを特徴とする超伝導量子干渉素子磁束計。
IPC (3件)：
G01R 33/035 ZAA
, A61B 5/05
, H01L 39/22 ZAA
