特許
J-GLOBAL ID：200903083137398492
光電子分光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341731
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167465
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 良好なSN比を得るための十分な光電子数を確保しながら、かつ、高いエネルギー分解能を実現する。【構成】 極短パルスX線ないし極短波長紫外線を一定の時間間隔で多数並べたパルス列X線xにより試料Tを照射し、光電子eのビームを発生させる。次いで、発生された光電子eを、所定の距離飛行させることで、エネルギー分散を生じさせ、電子流計測器Sで計測し、得られた光電子流波形Pを、照射パルス列の波形なども考慮して解析することで、光電子スペクトルを得ることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
紫外線あるいはX線照射により試料から放出される光電子の飛行時間を計測して高分解能の光電子エネルギースペクトルを得る光電子分光方法において、前記試料の照射を複数の短パルスからなるパルス列により行うことを特徴とする光電子分光方法。
引用特許：
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