特許
J-GLOBAL ID：200903083149172503
プラズマ生成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277899
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104191
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 反応室内に設けられた試料台の移動機構近傍に発生したパーティクルの試料への付着を防止して歩留りを向上させる。【構成】 反応室4が仕切り部材1によって試料台5の移動機構6側と試料Sの保持側とに仕切られており、移動機構6の移動により発生したパーティクルは移動機構6側の空間4aから試料S保持側の空間4bへ流入しない。また反応室4の両空間4a,4bそれぞれを排気管7,8を通して個別に排気し、両空間4a,4bに圧力差を設け、パーティクルが空間4bから仕切り部材1と試料台5との間の狭小な間隙3を介して空間4bへ流入しないようにする。
請求項（抜粋）：
反応室内の試料台に保持された試料にプラズマを照射すべく、該試料台をプラズマ生成領域の方向に移動する移動機構が反応室内に設けられているプラズマ生成装置において、反応室を試料台の試料保持側と前記移動機構側とに仕切る仕切り部材と、該仕切り部材により仕切られた両空間のそれぞれを個別に排気する排気手段とを備えたことを特徴とするプラズマ生成装置。
IPC (4件)：
H01L 21/205
, C23C 14/34
, C23C 16/50
, C23F 4/00
