特許

J-GLOBAL ID：200903083158747438

基板上に黄緑石型酸化タングステン層を形成する方法および該黄緑石型酸化タングステン層含有湿度センサ素子

発明者： リ インジェン ジェイムズ ,  サイ ピン ピン
出願人/特許権者： インダストリアル テクノロジー リサーチ インスチチュート
代理人 (1件)： 福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-048462
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229888
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 広い水分感度範囲を有し、長期に渡り高温下で使用でき、かつ、高湿度大気中で劣化しない水分センサを提供する。【解決手段】 タングステン酸塩溶液に水熱反応を施して、黄緑石型酸化タングステン粉末を調製し、続いて基板上に該酸化タングステンをスクリーン印刷することによって、黄緑石型酸化タングステン層を基板上に形成し、湿度センサ素子は、一対の櫛型電極の上に、もしくは2つの電極の間に、該酸化物をスクリーン印刷することによって、製造される。また、タングステン酸塩溶液に基板を浸漬し、その溶液に水熱反応を施すことによって、黄緑石型酸化タングステン層を、基板上に形成させる。

請求項（抜粋）：

基板上に黄緑石型酸化タングステン層を形成する方法であって、前記黄緑石型酸化タングステンが、一般式(M2 O)xWO3 ・zH2 O〔式中、M=H+ 、LI+ 、Na+ 、Ag+ 、およびNH4+であり、xは0.45〜0.55、zは0〜2である〕を有する前記方法において、(a)タングステン酸塩濃度が少なくとも0.43Mである該タングステン酸塩の溶液を調製するステップと、(b)該溶液のpH値を、8.5よりも低くなるように調整するステップと、(c)70°Cを超える温度で、ステップ(b)の前記溶液に水熱反応を施して、前記黄緑石型酸化タングステン粉末を得るステップと、(d)前記黄緑石型酸化タングステン粉末のペーストを調整し、該ペーストを前記基板上に印刷するステップと、を備えることを特徴とする前記方法。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  C01G 41/00

FI (3件)：

G01N 27/12 J ,  G01N 27/12 M ,  C01G 41/00 A