特許

J-GLOBAL ID：200903083165352139

感光性エレメント及びその製造方法、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者： 阿部 卓治
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  長濱 範明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-381307
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212584
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】基板上の凹凸に対する感光性樹脂組成物層の追従性に優れる感光性エレメント及びその製造方法、並びにその感光性エレメントを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法の提供。【解決手段】支持体と、該支持体上に形成された感光性樹脂組成物層とを備え、感光性樹脂組成物層が、(A)バインダーポリマー及び(B)エチレン性不飽和共重合体の総量100重量部に対して、(A)バインダーポリマー40〜80重量部、(B)エチレン性不飽和重合性モノマー20〜60重量部、(C)光重合開始剤0.001〜10重量部及び(D)有機溶剤0.001〜5重量部を含有する感光性エレメント。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

支持体と、該支持体上に形成された感光性樹脂組成物層とを備える感光性エレメントであって、 前記感光性樹脂組成物層が、(A)バインダーポリマー及び(B)エチレン性不飽和共重合体の総量100重量部に対して、(A)バインダーポリマー40〜80重量部、(B)エチレン性不飽和重合性モノマー20〜60重量部、(C)光重合開始剤0.001〜10重量部及び(D)有機溶剤0.001〜5重量部を含有することを特徴とする感光性エレメント。

IPC (4件)：

G03F7/004 ,  C08F291/00 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

FI (4件)：

G03F7/004 512 ,  C08F291/00 ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D

Fターム (53件)：

2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC43 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA28 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H025FA43 ,  4J026AA17 ,  4J026AA20 ,  4J026AA21 ,  4J026AA31 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA47 ,  4J026AA48 ,  4J026AA49 ,  4J026AA50 ,  4J026BA27 ,  4J026BA30 ,  4J026BA36 ,  4J026BA39 ,  4J026DB02 ,  4J026DB06 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA08 ,  5E339AB02 ,  5E339BC02 ,  5E339BE13 ,  5E339BE17 ,  5E339CC02 ,  5E339CE16 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD02 ,  5E339GG10 ,  5E343AA15 ,  5E343AA17 ,  5E343CC63 ,  5E343DD76 ,  5E343EE03 ,  5E343EE20 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08