特許
J-GLOBAL ID：200903083165682945
蒸着フィルムの製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244612
公開番号（公開出願番号）：特開平6-093447
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】特に酸化物セラミックスを透明プラスチックフィルム上に高速巻き取り蒸着し、かつガスバリヤー性の高い蒸着フィルムを容易に製造できる装置を提供する。【構成】長尺の透明プラスチックフィルムを真空容器内で走行させ、コーティングドラム上で蒸発材料を連続的に真空蒸着し、次いでこの蒸着フィルムを蒸着する真空容器と区切られた真空容器内に搬入し、この容器内で蒸着フィルムに高周波酸素プラズマ処理を行なうことを特徴とする。高周波酸素プラズマ処理により、蒸着膜に再酸化反応を起こし、ピンホールのない、また高いガスバリヤー性を有する蒸着フィルムとなる。
請求項（抜粋）：
長尺の透明プラスチックフィルムを真空容器内で走行させ、コーティングドラム上で蒸発材料を連続的に真空蒸着し、次いでこの蒸着フィルムを蒸着する真空容器と区切られた真空容器内に搬入し、この容器内で蒸着フィルムに高周波酸素プラズマ処理を行なうことを特徴とする蒸着フィルムの製造装置。
IPC (2件)：
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