特許

J-GLOBAL ID：200903083169185180

表面の化学的性質を検査するための装置

発明者： チエスターフイールド スチユワート ロバート ,  バツド,クリストフアー
出願人/特許権者： マトラ ビーエイイー ダイナミツクス(ユーケー)リミテツド
代理人 (1件)： 八木田 茂 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-543269
公開番号（公開出願番号）：特表2002-509614
出願日： 1999年02月18日
公開日（公表日）： 2002年03月26日
要約：

【要約】金属シートのような試験片(1)に真空チャンバ(2)内で高出力レーザ(4)を照射される。照射される金属表面に形成されたプラズマの電磁気特性が3つのプローブ(5、6、7)によって計測され、これらの特性が照射面の化学的性質を示している。

請求項（抜粋）：

試験片の表面に照射し、それによってプラズマを形成するための表面の一部にイオン化を始めるレーザと、 前記表面の一部に近接して配置され、プラズマの電磁特性に反応するプローブとを備えることを特徴とする表面の化学的性質を検査するのための装置