特許
J-GLOBAL ID：200903083173280627
表面形状測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181471
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297017
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【課題】 広い測定範囲を有する表面形状測定装置において、簡単な構成であると共に優れた携帯性を得ること。【解決手段】 センサヘッド11はシャフト10に支持されることにより直線移動可能に設けられている。このセンサヘッド11はレーザダイオード19及びリニアCCD20を備えており、三角測量の原理により測定対象物Aまでの距離を示す距離情報を出力する。従って、センサヘッド11から出力される距離情報及びセンサヘッドの移動位置に基づいて測定対象物Aまでの距離を順次測定することができるので、斯様な距離情報に基づいて測定対象物Aの表面形状を測定することができる。
請求項（抜粋）：
測定対象物に対して離間した状態で位置決めされる本体と、この本体に直線移動可能に設けられ、前記測定対象物の表面までの距離を示す距離情報を出力する距離検出手段と、この距離検出手段からの距離情報を当該距離検出手段の移動位置に対応させた状態で出力する出力手段とを備えたことを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G01C 3/06
G01B 11/24 C
, G01B 11/00 B
, G01C 3/06 A
