特許

J-GLOBAL ID：200903083181106539

クリーンルーム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法

発明者： 江口 剛治
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219433
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043387
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】 高さが異なる複数のフロアを有するクリーンルームにおいて、フロア間搬送における搬送待ち時間を減らし、効率良く物流を行う。【解決手段】 高さが異なる複数のフロア21,22を有するクリーンルーム1において、フロア間で物品4を搬送するためのエスカレータ3を配置した。フロア間の物品4の搬送は、自走式搬送車5を用いた。エスカレータ3の踏段33において、自走式搬送車5及びその上に載せられた物品4は、保持部34により上方から保持される。保持部34は、乗降口31,32付近で、物品4を介して自走式搬送車5の乗降動作を補助する。

請求項（抜粋）：

床の高さが異なる複数のフロアと、前記複数のフロア間に配置され、前記フロア間で物品を搬送するためのエスカレータと、を備えることを特徴とするクリーンルーム。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07 ,  F24F 7/06

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/07 C ,  F24F 7/06 C

Fターム (8件)：

3L058BF08 ,  5F031CA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA05 ,  5F031GA58 ,  5F031GA60 ,  5F031NA02 ,  5F031NA08