イオン源装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153366
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320500
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】簡単な構造で低い放電電圧により、効率よく所望量の大電流のイオンビームが引き出せるようにする。【解決手段】プラズマ生成室2を形成する筐体1の側壁外周に設けられ,プラズマ生成室2の壁面近傍に強磁場のラインカスプ磁場を形成してプラズマをプラズマ生成室2の中央部に閉じ込めるマグネット13と、プラズマ生成室2に設けられたタングステンフィラメント(熱電子放出材)7と、プラズマ生成室2のラインカスプ磁場内の位置に設けられ,プラズマ生成室2の陰極6との間に直流放電が生じる陽極14とを備え、かつ、筐体1をフロート電位又は陰極6の電位にする。

請求項（抜粋）：

プラズマ生成室に直流放電のプラズマを生成し、ビーム引出電極により前記プラズマ生成室からイオンビームを引き出すイオン源装置において、前記プラズマ生成室を形成する筐体の側壁外周に設けられ,前記プラズマ生成室の壁面近傍に強磁場のラインカスプ磁場を形成して前記プラズマを前記プラズマ生成室の中央部に閉じ込める複数のマグネットと、前記プラズマ生成室に設けられた熱電子放出材と、前記プラズマ生成室の前記ラインカスプ磁場内の位置に設けられ,前記プラズマ生成室の陰極との間に前記直流放電が生じる陽極とを備え、かつ、前記筐体をフロート電位又は前記陰極の電位にしたことを特徴とするイオン源装置。

IPC (3件)：

H01J 37/08 , H01J 27/08 , H01J 27/14

FI (3件)：

H01J 37/08 , H01J 27/08 , H01J 27/14

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