特許

J-GLOBAL ID：200903083187347791

薄円板状ワークのスクラバー洗浄装置

発明者： 長谷川 文彦 ,  塚田 真 ,  工藤 秀雄 ,  山田 正幸 ,  内山 勇雄
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-358060
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182940
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】[目的] 薄円板状のワークの片面と外周縁とを同時、且つ確実に洗浄することができる薄円板状ワークのスクラバー洗浄装置を提供すること。[構成] 半導体ウエーハ(ワーク)Wを吸着保持してこれを回転駆動するワーク吸着回転手段20と、ウエーハWの回転平面と平行な平面内で回転自在及びウエーハWの少なくとも半径方向に揺動自在に支持され、ブラシ構造表面を有する平面部11aと円筒部11bを有する回転ブラシ11と、該回転ブラシ11を回転駆動する駆動モータ(回転手段)16と、回転ブラシ11を揺動させるシリンダ(揺動手段)13を含んでスクラバー洗浄装置を構成する。ワーク吸着回転手段20に吸着保持されたウエーハWを回転させながら、該ウエーハWの反吸着面に、同じく回転する回転ブラシ11の平面部11aを押圧するとともに、同回転ブラシ11を、その円筒部11bがウエーハWの外周縁に当接するまで揺動させると、ウエーハWの反吸着面、面取部は回転ブラシ11の平面部11a、円筒部11bでそれぞれでスクラバー洗浄される。

請求項（抜粋）：

薄円板状のワークを吸着保持してこれを回転駆動するワーク吸着回転部と、ワークの回転平面と平行な平面内で、回転自在及びワークの少なくとも半径方向に揺動自在に支持され、ブラシ構造表面を有するリング状の平面部と該平面部の中心にワーク側に向かって突出する同じくブラシ構造表面を有する円筒部から成る回転ブラシと、該回転ブラシを回転駆動する回転手段と、同回転ブラシを揺動させる揺動手段を含んで構成されることを特徴とする薄円板状ワークのスクラバー洗浄装置。