特許

J-GLOBAL ID：200903083189744500

振動センサ、及び振動センサの製造方法

発明者： 吉田 勇作
出願人/特許権者： 株式会社アカシ
代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-251693
公開番号（公開出願番号）：特開2003-066063
出願日： 2001年08月22日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】小型であると共に、よりダンピング調整が容易で、精度が良い振動センサを提供する。【解決手段】被測定体に固定した磁気回路2内に設けられた磁石3と、前記磁石3間に設けた可動部4と、可動部4の上面に設けたコイル9が発生する起電力を検出する検出部5とからなり、コイル9が発生する起電力から加速度等を測定する振動センサ1において、検出部5から出力された検出値を基に可動部の下面に設けたコイル10に電流を流すフィードバック回路6を備える。可動部4は、略平行な2枚のガラス基板7間に挿入されたシリコン基板8により構成され、このガラス基板7とシリコン基板8との間のギャップ内の圧力が調整可能となっている。

請求項（抜粋）：

被測定体の振動を検出するために、当該被測定体に取り付けられる振動センサであって、前記被測定体の振動に伴って、少なくとも厚さ方向に自在に変位するよう弾性支持された基板と、前記基板の表面に、螺旋状にパタンニングされた検出用コイルと、前記検出用コイルに第1の磁場を印加する第1の磁場生成手段と、を備え、前記検出用コイルに生ずる誘導起電力に基づいて前記被測定体の振動を検出するように構成されていることを特徴とする振動センサ。

IPC (4件)：

G01P 15/11 ,  G01B 7/00 ,  G01H 11/02 ,  G01P 15/13

FI (4件)：

G01P 15/11 ,  G01B 7/00 D ,  G01H 11/02 B ,  G01P 15/13

Fターム (15件)：

2F063AA02 ,  2F063AA50 ,  2F063CA35 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DD03 ,  2F063EB05 ,  2F063EB07 ,  2F063GA01 ,  2F063GA28 ,  2F063GA41 ,  2F063GA61 ,  2G064BA07 ,  2G064BD12 ,  2G064BD62