特許
J-GLOBAL ID:200903083190310181
コンタクトプロ-ブおよびプロ-ブ装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-259062
公開番号(公開出願番号):特開2001-083178
出願日: 1999年09月13日
公開日(公表日): 2001年03月30日
要約:
【要約】【課題】コンタクトプロ-ブおよびプロ-ブ装置において、コンタクトプロ-ブを小型にしかつ長寿命化を図る。さらに、コンタクトプロ-ブの交換が容易で、狭ピッチの電極端子の電子部品に対応できるようにする。【解決手段】プランジャ1の摺動部にOリングなど用いることなくコンタクトプロ-ブ13の外径を細くし、圧縮ガスの導入穴6をソケット2の中央部に設けて、1個の配管14cで全てのコンタクトプロ-ブに圧縮ガスを供給している。
請求項(抜粋):
接触すべき電極端子に先端部を当接するプランジャと、このプランジャの後端部が挿入され該プランジャが軸方向に摺動し得る孔を有する導電性の筒状室部とこの筒状室部と一体化され前記プランジャの進入を阻止しかつ通気穴を有する壁が設けられるとともに側壁にある圧縮ガス導入穴から前記壁の通気穴を通して圧縮ガスが供給されることによって前記プランジャを前記筒状室内で摺動させる導電性のガス加圧室部とを具備するソケットとを備えることを特徴とするコンタクトプロ-ブ。
IPC (4件):
G01R 1/06
, G01R 1/073
, G01R 31/28
, H01L 21/66
FI (4件):
G01R 1/06 E
, G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
, G01R 31/28 K
Fターム (17件):
2G011AA16
, 2G011AB03
, 2G011AC02
, 2G011AC14
, 2G011AE22
, 2G011AF02
, 2G032AF02
, 2G032AF04
, 2G032AJ07
, 2G032AK03
, 2G032AL03
, 2G032AL11
, 4M106AA04
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD06
, 4M106DD22
引用特許: