特許
J-GLOBAL ID：200903083203306375
XYテーブル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-283919
公開番号（公開出願番号）：特開平9-123034
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】【課題】XYテーブル装置のサーボ特性を高帯域化することにより、従来にない高加減速位置決めが可能なXYテーブル装置を提供する。【解決手段】XYテーブル装置のX軸テーブル1とY軸テーブル2のそれぞれに、リニアモータ20からなる走行駆動装置と、このリニアモータ20の固定部22と移動部23とのギャップを支持しつつテーブルの直線移動を案内する直線案内装置6とを設け、且つ出力テーブル3とY軸テーブル2とをほぼ同一高さに配設するとともに直動案内装置であるリニアガイド装置(Y軸カップリング)9を介して連繋し、当該リニアガイド装置9の案内レール9RはY軸テーブル2側に、スライダ9Sは出力テーブル3側に固定した。
請求項（抜粋）：
X軸方向に直線移動するX軸テーブルとY軸方向に直線移動するY軸テーブルとに連繋されてXY平面上を任意の方向に移動し所定位置に位置決めされる出力テーブルを備えたXYテーブル装置において、前記X軸テーブルとY軸テーブルのそれぞれに、リニアモータからなる走行駆動装置と、該リニアモータの固定部と移動部とのギャップを支持するとともに各テーブルの直線移動を案内する直動案内装置とを設け、且つ前記出力テーブルとY軸テーブルとを直動案内装置を介して連繋し、当該直動案内装置の案内レールはY軸テーブル側に、スライダはX軸テーブル側に固定したことを特徴とするXYテーブル装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 1/18 A
, F16H 25/20 A
