特許

J-GLOBAL ID：200903083205409953

非球面形状の評価方法及び非球面形状の評価装置

発明者： 後藤尚志
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104447
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295059
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】 簡易で信頼性の高い非球面形状の評価方法及びその評価方法を実施する評価装置を提供する。【解決手段】 実非球面の形状を測定するステップS1、設計基準非球面形状を相似変形することにより特定される非球面の形状と、前記測定された実非球面の形状との間の全体的な形状の差が最小になる最適相似変倍倍率M0 を求めるステップS2、最適相似変倍倍率M0 を用いて非球面を評価するステップS3からなる。

請求項（抜粋）：

以下の(A1)〜(A3)のステップを含むことを特徴とする非球面形状の評価方法。(A1)実非球面の形状を測定するステップ、(A2)設計基準非球面形状を相似変形することにより特定される非球面の形状と、前記測定された実非球面の形状との間の全体的な形状の差が最小になる最適相似変倍倍率M0 を求めるステップ、(A3)前記最適相似変倍倍率M0 を用いて非球面を評価するステップ。