特許
J-GLOBAL ID：200903083213379974
不連続部分を有する表面の形状測定方法及び形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-081696
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286846
出願日： 1994年04月20日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 不連続部分を有する表面形状を測定する場合に、測定装置のメモリ容量の低減及び処理速度の改善を目的とする。【構成】 表面の一部に不連続な部分を有する物体100の不連続な部分を除いた部分の表面形状を測定する方法であって、物体の表面位置を検出する検出器を、物体の表面に対して相対的に移動させ、所定のサンプリング方法でサンプリングした検出器の検出値を処理することにより、物体の表面形状を測定する測定方法において、サンプリングは、複数回のサンプリングを1単位とし、1単位内での検出値から他の検出値に対して大きな差を有する検出値を除き、残りの検出値を処理することにより表面形状を測定する。
請求項（抜粋）：
表面の一部に不連続な部分を有する物体の不連続な部分を除いた部分の表面形状を測定する方法であって、前記物体の表面位置を検出する検出器を、前記物体の表面に対して相対的に移動させ、所定のサンプリング方法でサンプリングした前記検出器の検出値を処理することにより、前記物体の表面形状を測定する測定方法において、前記サンプリングは、複数回のサンプリングを1単位とし、1単位内での検出値から他の検出値に対して大きな差を有する検出値を除き、残りの検出値を処理することにより表面形状を測定することを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (3件)：
G01B 21/30 102
, G01B 5/28 101
, G06F 17/40
