特許
J-GLOBAL ID:200903083217881437
ガス識別方法およびガス識別装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北村 修 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-273140
公開番号(公開出願番号):特開平10-123081
出願日: 1996年10月16日
公開日(公表日): 1998年05月15日
要約:
【要約】【課題】 ガス種の特定、特にメタンガスを識別することのできる技術を提供すること。【解決手段】 柱状結晶ガス検知素子Aを用いてメタンガスを識別するに、ガス検知素子に、第一設定温度でメタンガスを接触させて出力値を得るとともに、第一設定温度とは異なる第二設定温度でメタンガスを接触させて出力値を得て、その両出力値の差からメタンガスの標準出力変化量を求めておき、ガス検知素子Aに、第一設定温度で被検知ガスを接触させて第一出力値を得るとともに、第一設定温度とは異なる第二設定温度で被検知ガスを接触させて第二出力値を得て、第一出力と第二出力との差が標準出力変化量よりも大きい場合に、被検知ガスがメタンガス以外であると判断するとともに、第一出力と第二出力との差が標準出力変化量以下である場合に、被検知ガスがメタンガスであると推定する。
請求項(抜粋):
絶縁性基板表面に垂直あるいはほぼ垂直の方向で、径0.001〜10μmの柱状結晶として形成され、かつ、隣接する柱状結晶間の非融着部の平均長さが柱状結晶長さの30%以上になるように、金属酸化物薄膜を絶縁性基板上に設け、被検知ガスを接触させたときの前記金属酸化物薄膜のインピーダンス変化に基づいてガスを検出自在に構成したガス検知素子を用いてメタンガスを識別するガス識別方法であって、前記ガス検知素子に、第一設定温度でメタンガスを接触させて出力値を得るとともに、前記第一設定温度とは異なる第二設定温度でメタンガスを接触させて出力値を得て、その両出力値の差からメタンガスの標準出力変化量を求めておき、前記ガス検知素子に、第一設定温度で被検知ガスを接触させて第一出力値を得るとともに、前記第一設定温度とは異なる第二設定温度で被検知ガスを接触させて第二出力値を得て、前記第一出力と前記第二出力との差が前記標準出力変化量よりも大きい場合に、前記被検知ガスがメタンガス以外であると判断するとともに、前記第一出力と前記第二出力との差が前記標準出力変化量以下である場合に、前記被検知ガスがメタンガスであると推定するガス識別方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 27/12 A
, G01N 27/04 K
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