特許
J-GLOBAL ID:200903083218479527

固体撮像素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小池 晃 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-224376
公開番号(公開出願番号):特開平7-078959
出願日: 1993年09月09日
公開日(公表日): 1995年03月20日
要約:
【要約】【目的】 基板の一主面全面に受光部を配せるようにして、撮像感度の向上を効率よく実現させる。【構成】 シリコン基体1の一主面に、チャネル・ストッパ領域CSにて各画素に対応して分離され、かつ光電変換によって入射光量に応じた量の信号電荷を蓄積する受光部4を形成し、シリコン基体1の他主面に、受光部4から読み出された信号電荷を一方向に転送する垂直レジスタ領域21を形成し、受光部4と垂直レジスタ領域21間に、電荷蓄積時において、ポテンシャルバリアを形成し、垂直転送電極23への電位印加によって、受光部4と垂直レジスタ領域21間のポテンシャルバリアを消滅させるP形領域31を介在させて構成する。なお、受光部4の横方向に過剰電荷を掃き出すオーバーフロー部5を設けるようにしてもよい。
請求項(抜粋):
基体の一主面に、各画素に対応して分離され、かつ光電変換によって、入射光量に応じた量の信号電荷を蓄積する電荷蓄積部が形成され、上記基体の他主面に、上記電荷蓄積部から読み出された信号電荷を一方向に転送するレジスタ部が形成され、上記電荷蓄積部と上記レジスタ部間に、少なくともレジスタ部への読み出し用の電位印加によって、ポテンシャル変動が生じるコントロールバリア層が形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件):
H01L 27/148 ,  H04N 5/335

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