特許
J-GLOBAL ID：200903083222755237
鏡面仕上げされた薄板状ウェーハの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-056174
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256203
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 スライス後に両頭研削加工を導入し、うねりが除去され厚みの揃った薄板状ウェーハを少ない工程数で効率よく製造する。【解決手段】 インゴットからワイヤソー切断により薄板状ウェーハを切り出し、薄板状ウェーハを両頭研削した後、両面研磨し、仕上げ研磨する。両頭研削では、薄板状ウェーハの両面にリング状の研削ホイールが押し当て、薄板状ウェーハ及び/又は研削ホイールを回転させる。【効果】 両頭研削によりスライスうねりが効率よく除去され、加工歪みも少ないため両面研磨工程での負荷も軽減される。また、少ない取り代でウェーハが加工されるため、ウェーハ収率が増加し、製造コストが削減される。
請求項（抜粋）：
インゴットからワイヤソー切断により薄板状ウェーハを切り出し、薄板状ウェーハを両頭研削した後、両面研磨し、仕上げ研磨することを特徴とする鏡面仕上げされた薄板状ウェーハの製造方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, B24B 1/00
, B24B 7/17
H01L 21/304 321 M
, B24B 1/00 A
, B24B 7/17 A
