情報記録媒体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-162537
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017043
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】マスク端部および試料のマスク直下に現れる物理的スパッタ特有のファセットまたは荒れを防止し、且つ、入射イオンの断面側壁入射のため、側壁には低部付近に湾曲すなわちオーバーハングを防止することで、高密度で且つ信号特性の良好な情報記録媒体のスタンパおよび情報記録媒体の製造方法を提供する。【構成】円盤よりなる基板1の表面に、下層2,中間層3,上層4の順で積層し、書き込み情報に対応するレーザ光を照射してレーザ光照射領域の上層4を露光し、露光された上層4を現像し、レーザ光照射領域の上層4を除去して中間層3を露出し、第1回目のエッチング?@をなして上層4の除去された領域の中間層3を除去することでピットパターンを転写し、中間層3をエッチングマスクとし第2回目のエッチング?Aをなして中間層3の除去された領域の下層2に凹部を形成し、中間層3をメタルマスタの一部として取り込みメタルマスタを作成する。

請求項（抜粋）：

円盤よりなる基板1の表面に、非感光性の下層2,中間層3の順で積層し、次いで感光性の上層4を積層し、書き込み情報に対応するレーザ光を照射して、そのレーザ光照射領域の上層4を露光し、その露光された上層4を現像し、前記レーザ光照射領域の上層4を除去して中間層3を露出し、第1回目のエッチング?@をなして、前記上層4の除去された領域の中間層3を除去することで上層のパターンを転写し、前記中間層3をエッチングマスクとし第2回目のエッチング?Aをなして、前記中間層3の除去された領域の下層2に凹部を形成し、前記中間層3をメタルマスタの一部とすることを特徴とする情報記録媒体のスタンパの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

光記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-117591 出願人：セイコーエプソン株式会社

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