透光体の厚み測定装置及び測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-322627
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146533
出願日： 1998年11月12日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】非破壊的に、且つ、容易な取扱いで透光体の各透光層の厚みを測定する。【解決手段】光源2から200nmを中心とする波長の光を出射し、石英坩堝1の直胴部に照射する。石英坩堝1を透過した光は干渉フィルタ5により200nmの光が選択的に受光され、光電子倍増管6で光強度が検出されて演算装置7に入力される。演算装置7では光強度が入力されて透過率算出部7aで透過率が求められランベルト応用式に代入される。石英坩堝1の総厚み,石英坩堝1の有泡層12bの厚みt3 が検出され、その他のパラメータ値がランベルト応用式に代入され、石英坩堝1の合成石英ガラス層11の厚みt1 が算出される。

請求項（抜粋）：

複数の透光層を有する透光体の各層の積層方向の厚みを測定する装置において、エネルギー光を出射する光源と、前記透光体を積層方向に透過した前記エネルギー光の所定波長光を受光する光検出器と、該光検出器で検出された光強度に基づいて前記透光層の厚みを演算する演算部とを備えることを特徴とする透光体の厚み測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 , C30B 15/10

FI (2件)：

G01B 11/06 Z , C30B 15/10

Fターム (31件)：

2F065AA30 , 2F065BB08 , 2F065BB22 , 2F065CC00 , 2F065FF00 , 2F065FF46 , 2F065FF61 , 2F065FF63 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065HH15 , 2F065JJ01 , 2F065JJ09 , 2F065JJ17 , 2F065LL04 , 2F065LL22 , 2F065LL30 , 2F065PP24 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 4G077AA02 , 4G077AB10 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077JB01 , 4G077PD02 , 4G077PD05 , 4G077PD08

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平1-237404
特開平1-237404

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