半導体圧力差圧検出器

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-190132
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038726
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】低圧域でも圧力と出力の直線性が優れており、かつ生産性の良い半導体圧力差圧検出器を提供するものである。【解決手段】半導体基板1に、肉薄のダイヤフラム部2と、その外側周囲に肉厚の支持部3とを備え、ダイヤフラム部2にピエゾ抵抗素子からなる歪ゲージ4を形成したものである。そして、ダイヤフラム部2の歪ゲージ4が形成された領域と支持部3とを覆う補強層6を形成したものである。

請求項（抜粋）：

肉薄のダイヤフラム部と、その外側周囲に肉厚の支持部とを備えた半導体基板の前記ダイヤフラム部に歪ゲージを設けた半導体圧力差圧検出器において、前記歪ゲージが形成された領域と前記支持部とを覆う補強層を形成したことを特徴とする半導体圧力差圧検出器。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 13/06 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 13/06 R , H01L 29/84 B

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