特許

J-GLOBAL ID：200903083262663424

ガスセンサの製造方法

発明者： 梅田 孝裕 ,  牧 正雄 ,  宇野 克彦 ,  丹羽 孝 ,  鶴田 邦弘
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-354292
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165897
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 小型で省電力のガスセンサの製造方法を提供する。【解決手段】 平板状の基板7にヒーター膜5と、電気絶縁膜4と、固体電解質膜1 ́と、一対の電極膜2aおよび2bと、酸化触媒膜3を形成し、その後前記基板7を酸で溶かして除去するので、熱容量を極めて小さくすることができ、消費電力を大幅に抑えることができて経済的である。そして、消費電力が小さいので、電池などを電源とすることができ、コンセントの少ない屋外、浴室および台所といった場所でも使用することができる。

請求項（抜粋）：

平板状の基板の一方の面にヒーター膜を形成する工程と、前記ヒーター膜の上に電気絶縁膜を形成する工程と、前記電気絶縁膜の上に酸素イオン伝導性を有する固体電解質膜を形成する工程と、前記固体電解質膜の上に一対の電極膜を形成する工程と、前記一対の電極膜のうち一方の電極膜の上に酸化触媒膜を形成する工程と、前記基板を酸で溶かして除去する工程から成るガスセンサの製造方法。

Fターム (7件)：

2G004BB04 ,  2G004BE12 ,  2G004BE22 ,  2G004BF07 ,  2G004BF12 ,  2G004BF14 ,  2G004BM07