特許
J-GLOBAL ID:200903083276527280
圧電振動子およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 和秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-318903
公開番号(公開出願番号):特開2000-151343
出願日: 1998年11月10日
公開日(公表日): 2000年05月30日
要約:
【要約】【課題】 精度高く薄板化して高周波要望に対応することができる圧電振動子およびその製造方法の提供。【解決手段】 金属支持体3を、圧電体基板2に対して間に介在物を挟むことなく一体に成形する。
請求項(抜粋):
振動用の圧電体基板と金属支持体とを有し、前記金属支持体を、前記圧電体基板に対して間に介在物を挟むことなく一体に成形したことを特徴とする圧電振動子。
IPC (6件):
H03H 9/17
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H03H 3/02
, H03H 9/19
, H03H 9/56
FI (6件):
H03H 9/17 F
, H03H 3/02 B
, H03H 9/19 D
, H03H 9/56 A
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
Fターム (12件):
5J108BB01
, 5J108BB02
, 5J108BB04
, 5J108CC04
, 5J108DD02
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE14
, 5J108GG03
, 5J108KK01
, 5J108KK03
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