特許
J-GLOBAL ID：200903083284956352
電磁波の偏波を利用した有機薄膜の製造方法および有機薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-014856
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199398
出願日： 1998年01月08日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：
【要約】【課題】 分子配向を制御することにより、有機分子の有する機能の異方性を相殺することなく、分子集合体における機能が向上した機能性有機薄膜を製造する方法および有機薄膜を提供する。【解決手段】 X線、真空紫外線、紫外線、可視光線、近赤外線、遠赤外線あるいはマイクロ波領域の電磁波の吸収に異方性を有する有機化合物分子を、基板上に蒸着させる第1の工程、および上記電磁波の少なくとも一つの直線偏波を基板上に堆積した有機化合物分子に照射して、電磁波の偏波方向に平行な遷移双極子モーメントを有する分子だけを電磁波の吸収による分子運動の活性化によって基板から再脱離させる第2の工程を連続的に繰り返し行うあるいは、同時に行うまたあるいはその両方によって、偏波方向と遷移双極子モーメントが直交する方向に配向されてなる一軸配向有機薄膜を製造する。
請求項（抜粋）：
X線、真空紫外線、紫外線、可視光線、近赤外線、遠赤外線あるいはマイクロ波領域の電磁波の吸収に異方性を有する有機化合物分子を、基板上に蒸着させる第1の工程、および上記電磁波の少なくとも一つの直線偏波を基板上に堆積した有機化合物分子に照射して、電磁波の偏波方向に平行な遷移双極子モーメントを有する分子だけを電磁波の吸収による分子運動の活性化によって基板から再脱離させる第2の工程を連続的に繰り返し行うあるいは、同時に行うまたあるいはその両方によって、偏波方向と遷移双極子モーメントが直交する方向に配向されてなる一軸配向有機薄膜を製造する方法。
IPC (8件)：
C30B 29/54
, C30B 23/08
, C30B 30/02
, C30B 30/04
, G02F 1/35 504
, H01L 21/203
, H01L 51/00
, H05B 33/10
C30B 29/54
, C30B 23/08 M
, C30B 30/02
, C30B 30/04
, G02F 1/35 504
, H01L 21/203 Z
, H05B 33/10
, H01L 29/28
