特許
J-GLOBAL ID：200903083285124415
偏光解析装置の波長変更方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353423
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160576
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【目的】誘電体薄膜などの光学特性を多変数測定するために偏光測定を行う薄膜測定装置に関して光源の波長を変更することを目的とする。【構成】半導体ダイオードレーザー(1)からの単色光をコリメーターレンズ(2)、偏光子(3)をとうして試料(4)に照射し、その反射光を波長板(5)、検光子(6)をとうしてフォトセンサー(7)で光量を測定する。ダイオードレーザー(1)にはヒートシンク(9)と結合したペルチエ素子(8)を熱的に結合してとりつける。ペルチエ素子(8)に流す電流を変えることによて半導体レーザー(1)のケース温度を変え発振波長を変更する。
請求項（抜粋）：
偏光解析装置の光源として温度コントロール機能のついた半導体レーザーダイオードを使い、そのケース温度または光出力をコントロールして波長を変えることによって、違った波長での偏光測定を行う偏光解析装置の波長変更方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 4/04 A
, G01M 11/00 T
