特許

J-GLOBAL ID：200903083286973181

圧電素子、インクジェット式ヘッドおよび吐出装置

発明者： 宮澤 弘 ,  樋口 天光 ,  岩下 節也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 増田 達哉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-090045
公開番号（公開出願番号）：特開2003-289161
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】例えば圧電特性に優れる圧電素子、インクジェット式ヘッドおよび吐出装置を提供すること。【解決手段】インクジェット式記録ヘッドHの主要部は、複数のインク室210を形成するインク室基板200の一方の面にノズル板100が、他方の面に振動板300がそれぞれ接合され、振動板300には、各インク室210に対応する位置に圧電素子400が下地層700を介して接合されている。各圧電素子400は、それぞれ、圧電体層430を上部電極410と下部電極420とで挟持して構成されている。本発明では、圧電体層430が、キュリー温度直下で反強誘電性状態となり、-20〜100°Cの温度範囲で強誘電体であり、かつ、前記温度範囲で構造相転移を示さないペロブスカイト型構造の金属酸化物を含むもの、または、このものと他のペロブスカイト型構造の金属酸化物とを含むものであることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

第1の電極と、該第1の電極に対向する第2の電極と、これらの電極の間に介挿され、キュリー温度直下で反強誘電性状態となり、-20〜100°Cの温度範囲で強誘電体であり、かつ、前記温度範囲で構造相転移を示さないペロブスカイト型構造の金属酸化物を含む圧電体層とを有することを特徴とする圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187

FI (8件)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/08 U

Fターム (14件)：

2C057AF51 ,  2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG47 ,  2C057AP03 ,  2C057AP13 ,  2C057AP14 ,  2C057AP23 ,  2C057AP31 ,  2C057AP53 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14