真空ポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-084987
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281089
出願日： 1997年04月03日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】半導体製造設備等に用いられる真空ポンプにおいて、その回転支持の要となる軸受部の信頼性を向上させることを目的とする。【解決手段】回転軸1および2の内部に遠心力による冷却油の吸い上げ作用を行う管路19、20が設置されており、その先端のノズル15、16は冷却液タンク17に満たされた冷却および軸受潤滑のための冷却液18に浸かっている。冷却液18は軸受4、5の高さまで吸い上げられた所で、回転軸1、2内の穴の内壁と管19、20の外壁との間の空間21、22を落下し、冷却液タンク17に戻ることによって回転軸1、2および軸受4、5の内輪を冷却し、軸受4、5の外輪に対する内輪の熱膨張量が過大になることを抑制し、軸受内の玉と内外輪の接触圧が過剰にならないようにすることにより、軸受部に高い信頼性が得られる。

請求項（抜粋）：

ハウジングの内部に収納された複数個のロータと、これらのロータの回転軸を支持する軸受と、前記ハウジングに形成された気体の吸気口および吐出口と、前記複数個のロータをそれぞれ独立して回転させる複数個のモータと、前記モータの回転角および回転数を検知する検出手段とからなり、前記検出手段からの信号を用いて前記ロータを同期して回転させることによって前記複数個のロータおよび前記ハウジングで形成される密閉空間の容積変化を利用して気体の吸気および排気を行う容積式の真空ポンプにおいて、前記回転軸内に冷却液を循環させることにより前記回転軸および前記軸受を冷却する冷却手段を具備したことを特徴とする真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04C 29/04 , F04C 25/02 , H02K 9/19

FI (3件)：

F04C 29/04 H , F04C 25/02 M , H02K 9/19 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-175491
特開昭61-200391
圧縮機用回転軸
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-325751 出願人：株式会社東芝

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