特許
J-GLOBAL ID：200903083311939198
ダイシング方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-326191
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151586
出願日： 1992年11月12日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 ウエハテーブルの精度に関わらず高精度でブレード高さを補正制御し、ブレードによる切込み量をつねに高精度に保つことができるダイシング方法および装置を提供する。【構成】 ウエハに切込みを入れるためのブレード12の高さを計測する工程と;ウエハを搭載するテーブル面10の高さをテーブル面の複数位置1〜9で計測する工程と;計測したテーブル面の高さに基づいてブレード高さの測定値を補正し、この補正値に基づいて切込み深さを設定する工程とを有する。
請求項（抜粋）：
ウエハに切込みを入れるためのブレードの高さを計測する工程と;ウエハを搭載するテーブル面の高さをテーブル面の複数位置で計測する工程と;計測したテーブル面の高さに基づいてブレード高さの測定値を補正し、この補正値に基づいて切込み深さを設定する工程とを有することを特徴とするダイシング方法。
IPC (3件)：
H01L 21/78
, B28D 5/00
, G05B 15/00
