特許
J-GLOBAL ID:200903083313474664

精密機器載置台

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡邊 功二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-204382
公開番号(公開出願番号):特開平10-047428
出願日: 1996年08月02日
公開日(公表日): 1998年02月20日
要約:
【要約】【課題】 簡易な構成により低周波数の振動を効果的に減衰できかつ占有スペースの小さい精密機器載置台を提供する。【解決手段】 台本体の底板10a上に平板部31側が取り付けられた防振部材30の係合凹部33aに、精密機器40を載置した機器載置板20の裏面に立設された係合棒26aが挿入されることにより、床面からケース10にもたらされる振動、特に低周波数の振動が防振部材30によって効率よく減衰させることができる。防振部材は、樹脂製の円筒容器の内部にシリコン樹脂等の高粘性流体34が充填されている。そのため、機器載置板20上に載置された精密機器への振動の伝達が軽減され、精密機器の正常な動作が確保される。
請求項(抜粋):
上面が開放された偏平な箱状の台本体と、同台本体内にてその側壁の少なくとも3箇所に一端が取り付けられた複数のスプリングと、同複数のスプリングの他端に取り付けられて、前記台本体の底壁に対して平行にかつ浮遊状態で同台本体に支持され、上側面に精密機器が載置される機器載置板と、筒状体であって一端面が平板部により封止され、弾性を有する軟質樹脂製または軟質エラストマ製の可撓性薄膜を同軸的かつ曲面形状に形成すると共に、同曲面形状の中心部分に同軸的に内側にへこんだ係合凹部を設けた攪拌軸部により他端面が封止され、かつ内部空間に粘性流体が充填されてなり、前記台本体側及び前記機器載置板側の何れか一方に前記平板部を固定することにより取り付けられる防振部材と、前記台本体側及び前記機器載置板側の他方にて、前記防振部材の係合凹部との対応位置に立設され同係合凹部に挿入される係合棒とを設けたことを特徴とする精密機器載置台。
IPC (2件):
F16F 15/02 ,  G12B 9/08
FI (2件):
F16F 15/02 M ,  G12B 9/08 B

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