特許

J-GLOBAL ID：200903083316038458

ICテストハンドラ及びテストソケットの保守管理方法

発明者： 重友 邦宏 ,  永田 昌央 ,  猿渡 明
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 村上 啓吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-186084
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004802
出願日： 2001年06月20日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 テストソケットのクリーニング作業を常に適切な時期に自動的に行えるようにするとともに、テストソケットの交換時期を自動的に作業者に報知できるようにして、検査エラーの発生を極力低減したICテストハンドラを提供する。【解決手段】 半導体IC2をICテスタ3の所定位置まで移送して半導体IC2をテストソケット4を介してICテスタ3に電気的に接続するためのICテストハンドラ1であって、複数の判断基準に基づいてテストソケット4のクリーニング作業を行うべき時期を決定するクリーニング作業時期決定手段30を備え、このクリーニング作業時期決定手段30で決定された結果に基づいてテストソケット4のクリーニング作業を実施するようにしている。

請求項（抜粋）：

半導体ICをICテスタの所定位置まで移送して半導体ICをテストソケットを介してICテスタに電気的に接続するためのICテストハンドラにおいて、複数の判断基準に基づいて前記テストソケットのクリーニング作業を行うべき時期を決定するクリーニング作業時期決定手段を備え、このクリーニング作業時期決定手段で決定された結果に基づいて前記テストソケットのクリーニング作業を実施することを特徴とするICテストハンドラ。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 31/26 Z ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  H01L 21/66 G

Fターム (15件)：

2G003AA07 ,  2G003AG01 ,  2G003AG11 ,  2G003AG12 ,  2G003AH02 ,  2G003AH05 ,  2G003AH06 ,  2G003AH10 ,  4M106AA04 ,  4M106BA14 ,  4M106DD23 ,  4M106DG16 ,  4M106DG25 ,  4M106DG30 ,  4M106DH57