特許
J-GLOBAL ID:200903083320649852
ラブ波デバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-253809
公開番号(公開出願番号):特開平8-125485
出願日: 1994年10月19日
公開日(公表日): 1996年05月17日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】Ta薄膜、W薄膜によって、ラブ波励振IDT電極を形成したラブ波デバイスを提供する。【構成】(Y-X)LiNbO3 基板3上に、IDT電極4をTa薄膜またはW薄膜で形成する。
請求項(抜粋):
YカットX伝搬のLiNbO3 基板上に、ラブ波を励振するインターディジタルトランスデューサ(以下IDTと略す)をTa薄膜で形成したラブ波デバイス。
IPC (2件):
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