特許
J-GLOBAL ID：200903083324664457
静電容量型加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和田 成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150581
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340962
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 センサ本体を複雑に加工することなく基板に固定し、またはセンサ本体に影響を及ぼす電気的外乱を確実に遮断してセンサ本体と基板を一体化する。【構成】 センサ本体4は、可動電極を内部に配置したフレーム板1を中間層として、フレーム板1と同寸法の固定板3、及びわずかに大きい固定板2を上下層とする積層構造からなり、固定板2のフレーム板1と重ならない部分に固定電極の端部9、9が形成されている。センサ本体4はベース体5の空間部5aに固定されるとともに、可動電極はフレーム板1の側面を介して、また固定電極の端部9、9はボンディングワイヤを介してそれぞれベース体5に内蔵された金属端子6、6及び金属端子7に接続される。さらにこのセンサ本体4とベース体5の一体構造をケース8が包囲しつつ、ベース体5に内蔵された金属端子6、6、7の突出した端部6b、6b、7bが基板の電極穴に挿入される。
請求項（抜粋）：
枠内に可動電極を配置したフレーム板と、表面に固定電極を配置した固定板との積層構造からなるセンサ本体を有し、当該センサ本体を基板に固定した状態で上記電極間の静電容量に基づいて加速度を検出する静電容量型加速度センサにおいて、空間部に上記センサ本体を配置しつつ上記基板に固定されるベース体と、上記ベース体に先端をはみ出した状態で内蔵されるとともに、当該一方の先端に上記可動電極又は固定電極を接続し、かつ他方の先端に上記基板の電極を接続する金属端子と、を備えることを特徴とする静電容量型加速度センサ。
IPC (2件)：
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