特許
J-GLOBAL ID：200903083325300556
バンプの形成法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349053
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204227
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 焼成時のダレの発生を防止し、微細なバンプを形成できるバンプの形成法を提供する。【構成】 基板1表面に、バンプ7aを形成すべき場所に孔6が設けられたメタルマスク5を設け、スクリーン印刷により金属ペーストを孔6内部に塗布してバンプ成形体を形成し、ついで前記基板1表面にメタルマスク5を付けた状態で、バンプ成形体の焼成を行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板に設けられた電極パッドに対応する孔を有するメタルマスクを前記基板上に位置合わせして配設し、該メタルマスク上からスクリーン印刷により金属ペーストを印刷し、ついで前記基板表面にメタルマスクを付けた状態で、金属ペースト成形体の焼成を行うことを特徴とするバンプの形成法。
IPC (2件)：
引用特許：
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