特許

J-GLOBAL ID：200903083329855790

感光性ポリイミド前駆体

発明者： ジョージ・チョルニイ ,  ムンホル・リー ,  ウィリ・フォルクセン ,  ドミニク・ヤン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-286465
公開番号（公開出願番号）：特開平7-207026
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：

【要約】【目的】 特に機械的特性に優れ、低い誘電率を有し、かつ感光性、解像度に優れた新規な感光性ポリイミドを提供する。【構成】 感光性基がカルボン酸に結合した、例えばBPDA-PDAおよびBPDA-ODAのような感光性ポリアミン酸誘導体を含む、感光性ポリイミド前駆体組成物を開示する。この組成物はi線、g線、およびi/g線に対して活性であり、12μm程度のよい光解像度を示した。形成されたポリイミド膜は優れた接着性、低い内部応力、非常に低い溶剤膨潤性、高い熱安定性、高い弾性率、大きい破断伸びなどの優れた機械的特性を示した。

請求項（抜粋）：

下記の式で表され、【化1】式中、Zが少なくとも1個の芳香環を含有する4価の有機基であり、Z'が少なくとも1個の芳香環を含有する2価の有機基であり、R*が感光性基であることを特徴とする、感光性ポリアミン酸前駆体。

IPC (3件)：

C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 504