特許
J-GLOBAL ID:200903083331502551

弾性表面波共振子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大塚 学
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-094943
公開番号(公開出願番号):特開平5-267981
出願日: 1992年03月23日
公開日(公表日): 1993年10月15日
要約:
【要約】【目的】圧電基板上に重い金属によってすだれ状変換器電極が形成されたラブ波型弾性表面波共振子の実用化の上限周波数を高め、しかも価格を低減すること。【構成】圧電基板1の表面上にアルミニウムまたは銅等の軽い金属材料を蒸着してすだれ状変換器電極2を形成したことを特徴とする。【効果】すだれ状変換器電極の膜厚精度が高くなり、従来に比べて約2倍の周波数の共振子が実用化された。
請求項(抜粋):
圧電基板の表面上に比重の小さい軽い金属によるすだれ状変換器電極が設けられ、電気機械結合係数の大きいラブ波型弾性表面波を励振するように構成したことを特徴とする弾性表面波共振子。
IPC (3件):
H03H 9/145 ,  H03H 9/25 ,  H03H 9/17

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