特許
J-GLOBAL ID：200903083344676486
選択的に光学的計測を行う装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-525812
公開番号（公開出願番号）：特表2002-514301
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 2002年05月14日
要約：
【要約】回折格子(G)を有する光学的結合ドメイン反射計を利用して、選択された光学的測定を試料上で行うための装置(11)及び方法を提供する。広帯域の光源(13)は短コヒーレント長の光を生成する。この光をビーム・スプリッター(BS1)が信号ビームと参照ビームとに分割する。参照ミラー(M5)はこの参照ビームを受けるように配置されている。レンズ(O1)はこの信号ビームを試料上に合焦させる。回折格子(G)は試料からの反射と参照ミラーからの反射とを受け、これらの反射は、回折格子の法線に関して、正及び負の、第一の、又は、第二の、又は、より高い、前記反射からの回析次数が前記回析格子に対する法線に沿う伝搬を受けるように、回折格子に入射する。レンズ(L1)は前記回析格子からの回析次数を集め、この回析次数を検出器(23)に合焦させ、検出器(23)は、受けた前記正及び負の、第一の回析次数を生成する。コンピューター(25)は、検出器(23)からの出力を処理する。
請求項（抜粋）：
サンプルの選択光学測定を行うシステムであって、 a. 広帯域光源と、 b. 該広帯域光源からの光を信号ビームと標準ビームとに分割する手段と、 c. 該標準ビームの光路に配置された標準ミラーと、 d. 該信号ビームを該サンプル上に焦点を合わせるための手段と、 e. 該サンプルからの反射光と該標準ミラーからの反射光とを受光する回折格子であって、該ミラーとサンプルとからの反射光が、該反射光からの正ならびに負の第1ならびに第2順位の回折が該回折格子に対して直角に伝搬するように該回折格子に対して直角に入射するように配置されていることと、 f. 検出器と、 g. 該回折格子からの該回折順位の回折を収束して、該回折順位を該検出器上に焦点を合わせる手段であって、該検出器が受光した該正ならびに負の第1ならびに第2順位の回折の出力を生成するように配置されていることと、 h. 該検出器からの該出力を処理する手段と、から構成されている選択光学測定システム。
引用特許：
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